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台科大缔盟大批科技 开辟伶俐动态监控体系

sunbet官网 社会 2019-10-06 14 0
双十连假 九份若车潮爆量 只开放接驳公车

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台湾科技大学与大批科技缔结产学协作,针对半导体制程的耗材「抛光垫」,开辟伶俐动态监控体系,将立即扫描并剖析抛光垫的外表描写,精准监测抛光垫寿命,控制耗材的最大化运用时间,削减替换次数,进而下降耗材本钱,进步晶圆制程的效力。

抛光垫是半导体制程中的主要耗材,跟着电子元件邃密精美度提拔,高阶制程比例增添,对晶圆外表平整度的请求也日趋严厉,为了让晶圆外表平整,须借由化学机器抛光手艺(CMP)将晶圆研磨抛光,抛光垫的运用效力也将影响晶圆生产本钱及团体产能

大批科技董事长科技特助林建宪博士,担负本次协作计画配合主持人。他示意,过去缺少立即监测抛光垫寿命的手艺,大多凭履历大略推断是不是要替换抛光垫,形成耗材本钱糟蹋。本次台科大与大批科技协作开辟「抛光垫伶俐动态监控体系」,目的是立即扫描并剖析抛光垫的外表描写,到达监测抛光垫运用寿命、打仗面积以及抛光液贮存才能,进而优化运用时间,削减抛光垫替换次数。借由最大化运用,提拔抛光垫对半导体晶圆外表邃密精美加工之平整化效能。

拆跨港大桥桥体 万吨平台船整备

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台科大机器系传授陈炤彰,同时也是台湾平整化应用手艺协会理事长。他提到,台湾是环球最大半导体材料消耗区域,每一年抛光垫耗材本钱高达80亿台币并有逐年增添趋向,透过伶俐监测模组相干系列手艺,能够辅佐台湾半导体厂下降约10%耗材本钱而且进步5%产能,将可大幅提拔台湾半导体装备产业的竞争力。

陈炤彰说,台科大机器系与大批科技协作形式,系由台科大供应手艺开辟抛光垫剖析软体,大批科技举行硬体设想与体系整合,配合打造抛光垫伶俐动态监控体系。大批科技也建立了新事业部门,现在已有介入计画的台科大机器所毕业生到大批科技任职。

台科大校长廖庆荣示意,本次协作连系产学研三方资本,很乐见台科大与大批科技推进半导体研发中间建立,配合提拔台湾半导体产业竞争力。

大批科技董事长王作京则示意,该公司除了投入资本辅佐学界研讨成果延长,让大学的研讨能量变成正式商品,更愿望门生们直接进入大批科技工作,将研讨所学与产业无缝接轨。


原文衔接:https://www.chinatimes.com/realtimenews/20191005001417-260405
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